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| 三维形貌扫描测量系统 | |
| 项目所在采购意向： | ****2025年6至7月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 三维形貌扫描测量系统 |
| 预算金额： | 260.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A****0803光电测量仪器 |
| 采购需求概况 ： | 三维形貌扫描测量系统，1套，拟采购设备可进行大尺寸工件的深度、宽度、体积、面积、晶粒、膜厚、线粗糙度、面粗糙度测量，可进行磨损情况、微观裂纹等形貌观测，微观部分：XY行程≥500mm，样品高度≥290mm，Z轴扫描行程＞9mm，水平分辨率＜0.13μm；宏观部分：XY行程≥300mm，倍率范围≥25-6700倍放大，大景深物镜工作距离≥65mm，镜体部分倾斜角度≥±85°，Z轴扫描聚焦行程(电动)＞90mm。 |
| 预计采购时间： | 2025-06 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
