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该项目预计占地面积2.67公顷,其中办公和研发用地面积各为0.4公顷,预计达产后年产碳化硅单晶炉400台:
*本项目建设集经营办公和新产品技术研****公司总部大楼与厂房,同时也为研发活动配备了相应的测试及生产环境;
*公司拟购置氦气检漏仪、XRD检测仪、辅助加工生产线、轮廓仪、三坐标测量仪、CVD外延炉等生产设备、加工设备以及测试设备合计约133台